講演情報

12:30 〜 14:30

[P25]Si基板に成膜したFe-Pt系厚膜磁石の諸特性

*下田慶人¹、高嶋恵佑²、山下昂洋²、柳井武志²、中野正基²、福永博俊² (1. 長崎大工(院生)、2. 長崎大工)

Fe-Pt系厚膜磁石、PLD法、Si基板

本研究では将来的なFe-Pt系厚膜磁石の医療用MEMSへの応用を鑑み，PLD法を用いてSi基板上に数μm厚以上のFe-Pt系厚膜磁石を成膜し，更には熱処理した際の磁気特性や機械的性質等の評価・観察を行った。