Presentation Information
[S3.34]種々の層厚さを有するNi-Co-Cu/Cu多層膜の圧縮変形
*KANEKO Yoshihisa1, KUBOMAE Tomohiro2, UCHIDA Makoto1 (1. 大阪市立大・工、2. 大阪市立大(院生))
Keywords:
多層膜,キンク変形,電気めっき
Ni-Co-Cu/Cu多層膜を銅基板上に成膜し,圧縮変形を与えた.多層膜に生じる局所変形の厚さは,多層膜の層厚さの増加とともに増加した.
多層膜,キンク変形,電気めっき