[S3] S3 キンク強化の材料科学II(3)

10:40 〜 10:55

[S3.34] 種々の層厚さを有するNi-Co-Cu/Cu多層膜の圧縮変形

*兼子 佳久¹、窪前 友宏²、内田 真¹ (1. 大阪市立大・工、2. 大阪市立大（院生）)

キーワード：

多層膜、キンク変形、電気めっき

Ni-Co-Cu/Cu多層膜を銅基板上に成膜し，圧縮変形を与えた．多層膜に生じる局所変形の厚さは，多層膜の層厚さの増加とともに増加した．