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[S5.13]Ti 添加アルミナΣ13 粒界における不純物元素の影響

*Ishihara Saki1, Tochigi Eita2, Shibata Naoya2,3, Ikuhara Yuichi2,3 (1. 東大工(院生)、2. 東大工、3. JFCC)

Keywords:

粒界,Al2O3,STEM,添加元素

添加元素が安定な表面形状に与える影響を調査するために,安定面から数度傾斜したオフカット基板表面に添加元素のCaSiOxまたはMgOの薄膜を形成した後にそれぞれの基板を1500℃でアニールし表面形状を調査した.