講演情報
[S5.13]Ti 添加アルミナΣ13 粒界における不純物元素の影響
*石原 佐季1、栃木 栄太2、柴田 直哉2,3、幾原 雄一2,3 (1. 東大工(院生)、2. 東大工、3. JFCC)
キーワード:
粒界、Al2O3、STEM、添加元素
添加元素が安定な表面形状に与える影響を調査するために,安定面から数度傾斜したオフカット基板表面に添加元素のCaSiOxまたはMgOの薄膜を形成した後にそれぞれの基板を1500℃でアニールし表面形状を調査した.
粒界、Al2O3、STEM、添加元素