Presentation Information
[P18]Electrical conductivity in epitaxial (Cr,Fe)N thin films
*takumi SUGAI1, junya NITTA1, tadachika NAKAYAMA1, Hisayuki SUEMATSU1, Tsuneo SUZUKI1 (1. Nagaoka Univ. Tech)
Keywords:
(Cr,Fe)N,Chromium nitride,Pulsed Laser Deposition,Electrical resistivity,Epitaxial growth
エピタキシャル成長させた(Cr,Fe)N薄膜を作製し、電気伝導性を評価した。4端子法による測定結果から(Cr,Fe)N薄膜はCrN薄膜に対してわずか3%程度のFeの固溶で電気抵抗率は2桁程度上昇することが確認できた。