講演情報
[P18]エピタキシャル(Cr,Fe)N薄膜の電気伝導性
*菅井 匠1、新田 純也1、中山 忠親1、末松 久幸1、鈴木 常生1 (1. 長岡技科大)
キーワード：
(Cr、Fe)N、Chromium nitride、Pulsed Laser Deposition、Electrical resistivity、Epitaxial growth
エピタキシャル成長させた(Cr,Fe)N薄膜を作製し、電気伝導性を評価した。4端子法による測定結果から(Cr,Fe)N薄膜はCrN薄膜に対してわずか3%程度のFeの固溶で電気抵抗率は2桁程度上昇することが確認できた。