Presentation Information
[S4.1][Keynote Lecture] Fracture and strength of submicrometer-thick metallic films
*Toshiyuki KONDO1, Kohji MINOSHIMA1 (1. Osaka Univ.)
Keywords:
薄膜,破壊じん性試験,疲労き裂進展試験,クリープき裂進展試験
サブミクロン金属薄膜の変形・破壊の機構と強度特性ならびにそれらの膜厚効果に関するこれまでの研究成果を概説し，これを基に今後の研究展望について述べる．