講演情報

[S4.1][基調講演] サブミクロン金属薄膜の破壊と強度

*近藤 俊之1、箕島 弘二1 (1. 阪大)

キーワード:

薄膜、破壊じん性試験、疲労き裂進展試験、クリープき裂進展試験

サブミクロン金属薄膜の変形・破壊の機構と強度特性ならびにそれらの膜厚効果に関するこれまでの研究成果を概説し,これを基に今後の研究展望について述べる.