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[J32]In-situ observation of AlN crystal growth on Fe-Al melts

*YAMAGATA Takefumi1, ADACHI Masayoshi1, OHTSUKA Makoto1, FUKUYAMA Hiroyuki1 (1. IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:

結晶成長,半導体材料,表面分析法,単結晶製造技術

電磁浮遊法を用いて,Fe-Al融液からのAlN結晶成長のその場観察を行い,AlNの生成・成長挙動の調査をした.