[J] 共同セッション：高温溶融体の物理化学的性質

10:10 〜 10:30

[J32] Fe-Al融液からのAlN結晶成長のその場観察

*山形 武史¹、安達 正芳¹、大塚 誠¹、福山 博之¹ (1. 東北大 多元研)

キーワード：

結晶成長、半導体材料、表面分析法、単結晶製造技術

電磁浮遊法を用いて，Fe-Al融液からのAlN結晶成長のその場観察を行い，AlNの生成・成長挙動の調査をした．