Presentation Information
[P111]Effect of 3D-seed on coercivity of post-annealed Nd-Fe-B thin films
*FURUSAWA Kohei1, KOIKE Kunihiro1, KATO Hiroaki1, INABA Nobuyuki1, ITAKURA Masaru2, SAITO Yu3, OKUBO Susumu3, OTA Hitoshi3 (1. Yamagata Univ., 2. Kyushu Univ., 3. Kobe Univ.)
Keywords:
Nd2Fe14B薄膜,3Dシード,保磁力,ポストアニール
本研究ではポストアニールしたNd-Fe-B薄膜の保磁力に与える3D形態のシード導入効果について検討した結果，シード導入はUHVアニールによるNd2Fe14Bの結晶化を促進させるため保磁力が増大することを確認した．