Presentation Information
[P118]Optical electrical characteristic improvement of ZnO-V and the ZnO-V-Al film
*KOIDE Takumi1, Yamashita Yuuri2, Yamane Haruki4, Kobayashi Masanobu3 (1. 千葉工大（院生）、2. 千葉工大（学生）、3. 千葉工大、4. 秋田産業技術センター)
Keywords:
ZnO,酸化物半導体,透明電極,薄膜,V
ITOの代替材料として注目されているZnOをベースにVおよびAlを添加した際の光学的・電気的性質の変化を検討することを目的とした。