Presentation Information
[P125]Quantitative evaluation of stacking faults in epitaxial Cr (N,O) thin films
*IWASAKI Yusuke1, NAKAYAMA Tadachika1, SUEMATSU Hisayuki1, SUZUKI Tsuneo1 (1. Nagaoka University of Technology)
Keywords:
Hard coating,Pulsed Laser Deposition,Chromium nitride,Epitaxial growth,Stacking faults
Cr(N,O)薄膜は積層不整を内在することにより高硬度化を実現した。積層不整の度合いを評価するため、酸素含有量が様々なエピタキシャルCr(N,O)薄膜のD51相をX線回折により評価した。