Presentation Information
[P129]Evaluation of deformation behavior of Ti-based metallic glass thin films contained Ar nanoclusters
*KOBATA Junpei1 (1. Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology)
Keywords:
アンバランスドマグネトロンスパッタ,金属ガラス,薄膜,アルゴン,ナノインデンテーション
Ar原子ナノクラスターを持つTi基金属ガラス膜の室温変形挙動をナノインデンテーション法により評価した結果、Ar原子ナノクラスターがせん断帯の形成・成長に大きな影響を与えていることを見出した。