[P] 5.材料化学

[P129] Ar原子ナノクラスターを持つTi基金属ガラス膜の変形挙動評価

*小畠 淳平¹ (1. 大阪技術研)

キーワード：

アンバランスドマグネトロンスパッタ、金属ガラス、薄膜、アルゴン、ナノインデンテーション

Ar原子ナノクラスターを持つTi基金属ガラス膜の室温変形挙動をナノインデンテーション法により評価した結果、Ar原子ナノクラスターがせん断帯の形成・成長に大きな影響を与えていることを見出した。