Presentation Information
[P21]Dynamical observation for investigating metal/Si interface reaction mechanism
*HARADA hiromasa1, SHIMADA yusuke2, YOSHIDA kenta2, INOUE koji2, NAGAI yasuyoshi2, KONNO toyohiko2 (1. Department of material science, 2. Institute for Materials Research)
Keywords:
原子分解能その場加熱観察,界面反応,透過電子顕微鏡
我々は透過電子顕微鏡を用いたナノスケールでの界面構造の観察を行ってきた。本研究ではAu/Siの原子分解能その場加熱観察を行った。その結果、アモルファス合金の生成とそれとSiの界面移動が観察された。