[P] 3.組織

[P21] 原子分解能その場加熱観察による金属/Si界面反応メカニズムの解析

*原田 寛大¹、嶋田 雄介²、吉田 健太²、井上 耕治²、永井 康介²、今野 豊彦² (1. 東北大工(院生)、2. 東北大金研)

キーワード：

原子分解能その場加熱観察、界面反応、透過電子顕微鏡

我々は透過電子顕微鏡を用いたナノスケールでの界面構造の観察を行ってきた。本研究ではAu/Siの原子分解能その場加熱観察を行った。その結果、アモルファス合金の生成とそれとSiの界面移動が観察された。