Presentation Information
[P37]Mechanical Property Evaluation of Single Crystalline Tin by Micro-Compression Test
*Hotta Tokihiro1, Chang Tso-Fu Mark1, Sone Masato1 (1. Tokyo tech)
Keywords:
単結晶錫,微小圧縮試験
錫は電子デバイス産業でよく利用されているが、微小機械試験はあまり行われていない。錫をより信頼性の高いデバイスとして利用する場合、マイクロスケールでの機械的特性を評価しておくことは非常に重要である。