[P] 4.力学特性

[P37] 微小圧縮試験による単結晶スズの機械的特性評価

*堀田 睦広¹、Chang Tso-Fu　Mark¹、曽根 正人¹ (1. 東工大)

キーワード：

単結晶錫、微小圧縮試験

錫は電子デバイス産業でよく利用されているが、微小機械試験はあまり行われていない。錫をより信頼性の高いデバイスとして利用する場合、マイクロスケールでの機械的特性を評価しておくことは非常に重要である。