Presentation Information
[S3.2]Nano/Micro-Protrusion of Iron and Its Alloys Fabricated by Ga Ion Irradiation
*TANAKA Shun-Ichiro1 (1. Micro System Integration Center, Tohoku University)
Keywords:
イオン励起反応場,ナノ・マイクロ突起体,鉄および鉄合金,トップダウンプロセス
Arイオン励起反応場では生成できなかった鉄基合金のナノ・マイクロ突起体を、より重いGaイオン照射で創成した。実験条件範囲内ではトップダウンプロセスが支配的で頂角11-20degの円錐体ができた。