[S3] ナノ・マイクロスペーステイラリングⅢ

10:10 〜 10:25

[S3.2] 鉄基ナノ・マイクロ突起体の創成

*田中 俊一郎¹ (1. 東北大マイクロシステム融合Ｃ)

キーワード：

イオン励起反応場、ナノ・マイクロ突起体、鉄および鉄合金、トップダウンプロセス

Arイオン励起反応場では生成できなかった鉄基合金のナノ・マイクロ突起体を、より重いGaイオン照射で創成した。実験条件範囲内ではトップダウンプロセスが支配的で頂角11-20degの円錐体ができた。