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[S4.12][Keynote Lecture] Crystal Structure Control in Electrodeposited Noble Metals and The Application into Medical MEMS Devices
*SONE Masato1, Tang Hao-Chun1, Chang Tso-Fu Mark1, Yamane Daisuke1, Machida Katsuyuki1, Ito Hiroyuki1, Masu Kazuya1 (1. Tokyo-Tech)
Keywords:
めっき,貴金属,機械的特性,微小材料試験,結晶組織
超高感度MEMS 加速度センサを実現するため、様々な電気めっき法を駆使し,金の細粒化強化や添加物による析出強化,合金化による固溶強化により、非常に高い機械的強度を有する階層的ナノ組織金属を作成した。