講演情報
[S4.12][基調講演] 貴金属めっき材料の結晶組織制御とその医用MEMS デバイスへの応用
*曽根 正人1、唐 浩峻1、Chang Tso-Fu Mark1、山根 大輔1、町田 克之1、伊藤 浩之1、益 一哉1 (1. 東工大)
キーワード：
めっき、貴金属、機械的特性、微小材料試験、結晶組織
超高感度MEMS 加速度センサを実現するため、様々な電気めっき法を駆使し,金の細粒化強化や添加物による析出強化,合金化による固溶強化により、非常に高い機械的強度を有する階層的ナノ組織金属を作成した。