日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会
Sep 14 - Sep 17, 2021オンライン開催
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[P118]Optical Properties of Pd-Doped Tungsten Oxide Thin Films
*Misaki TOISAWA1, Takuya Takuya2, Katsuhiko Nanaka3, Akira Yamaguchi3(1. Iwate Univ.(M2), 2. Iwate Univ.(Present: East Japan Railway Co.), 3. Iwate Univ.)
WO3は、水素との反応によってHxWO3となり、それに伴って光透過率が変化する。本研究ではPdをドープしたWOx薄膜を、高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いて成膜し、光学的特性と構造解析を行った。