日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会
2021年9月14日〜9月17日オンライン開催
日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会
2021年9月14日〜9月17日オンライン開催
[P118]Pd添加酸化タングステン薄膜の光学的特性
*樋沢 美咲1、瀧渡 拓哉2、野中 勝彦3、山口 明3(1. 岩手大理工（院生）、2. 岩手大院（現：JR東日本）、3. 岩手大理工)
キーワード：
水素、酸化タングステン、光学的特性、高周波マグネトロンスパッタリング、光透過率、薄膜
WO3は、水素との反応によってHxWO3となり、それに伴って光透過率が変化する。本研究ではPdをドープしたWOx薄膜を、高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いて成膜し、光学的特性と構造解析を行った。