日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会
Mar 16 - Mar 19, 2021オンライン開催(Zoom利用)
日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会
Mar 16 - Mar 19, 2021オンライン開催(Zoom利用)
[P4]Low-temperature crystallization of Ge thin films catalyzed by Ag
*XUHUI DENG1, Kentaro KYUNO2(1. 芝浦工大（院生）、2. 芝浦工大)
本研究では、低温で金属誘起結晶法（MIC法）を用いて、Agを触媒として利用して結晶化させたGe薄膜をチャネル層とした電界効果トランジスタを作製し、組織観察と電気特性の評価を行った。