公益社団法人 日本金属学会

本研究では、低温で金属誘起結晶法（MIC法）を用いて、Agを触媒として利用して結晶化させたGe薄膜をチャネル層とした電界効果トランジスタを作製し、組織観察と電気特性の評価を行った。