日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会

日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会

Mar 16 - Mar 19, 2021オンライン開催(Zoom利用)
The Japan Institute of Metals and Materials
日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会

日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会

Mar 16 - Mar 19, 2021オンライン開催(Zoom利用)

[P22]Evaluation of the Effect of Electron Beam Irradiation on Magnetostrictive Thin Films on Glass Substretes Applying Electrochemical Hydrogen loading

*Seo ONO1, Ren TOKIWA1, Mutsuki MATSUMOTO1, Eiichi MIURA1, Keisuke TAKEDA1, Hideki KIMURA3, Yoshihito MATSUMURA3, Yoshitake NISHI2,3, Helmut Takahiro UCHIDA3(1. 東海大工(院生)、2. KISTEC、3. 東海大工)
電子線照射ガラス基板および未照射ガラス基板上にNi膜を成膜し,電気化学的に導入量を厳密に制御した水素が薄膜の内部応力に及ぼす影響と電子線照射条件が及ぼす影響について検討した