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1:00 PM - 2:30 PM JST(4:00 AM - 5:30 AM UTC)

[P2]Improvement of optical and electrical characteristics by adding Ge to ZnO thin film

*Taiga KOBAYASHI¹, Kaisei NAKAJIMA¹, Haruki YAMANE², Masanobu KOBAYASHI¹ (1. Chiba Institute of Technology, 2. Akita Industrial Technology Center)

ZnO,透明電極,酸化物半導体

現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されている。その代替材料としてZnOが期待されている。本研究ではZnOにGeを添加し、光学的・電気的特性の変化を検討した。