日本金属学会2022年秋期(第171回)講演大会
2022年9月20日〜9月28日福岡工業大学
日本金属学会2022年秋期(第171回)講演大会
2022年9月20日〜9月28日福岡工業大学
[P2]ZnO 薄膜への Ge 添加による光学的・電気的特性の改善
*小林 泰河1、中島 魁星1、山根 治起2、小林 政信1(1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)
キーワード：
ZnO、透明電極、酸化物半導体
現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されている。その代替材料としてZnOが期待されている。本研究ではZnOにGeを添加し、光学的・電気的特性の変化を検討した。