講演情報

13:00 〜 14:30

[P2]ZnO 薄膜への Ge 添加による光学的・電気的特性の改善

*小林泰河¹、中島魁星¹、山根治起²、小林政信¹ (1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

ZnO、透明電極、酸化物半導体

現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されている。その代替材料としてZnOが期待されている。本研究ではZnOにGeを添加し、光学的・電気的特性の変化を検討した。