Presentation Information
[K4.6]Light-controlled nanoparticle accumulation and device process applications
*Sho Fujii1 (1. National Institute of Technology, Kisarazu College)
Keywords:
レーザー,ナノ粒子,容積プロセス,微小気泡
レーザー光を固液界面に集光すると光熱により気泡が生じる.子の気泡は溶液に分散するナノ粒子等を濃縮し,基板表面へ集積する性質がある.これらの機構とパターン集積,デバイスプロセス展開について発表する.
