講演情報

[K4.6][基調講演]光制御によるナノ粒子集積とデバイスプロセス応用

*藤井 翔1 (1. 木更津高専)

キーワード:

レーザー、ナノ粒子、容積プロセス、微小気泡

レーザー光を固液界面に集光すると光熱により気泡が生じる.子の気泡は溶液に分散するナノ粒子等を濃縮し,基板表面へ集積する性質がある.これらの機構とパターン集積,デバイスプロセス展開について発表する.