[G] Analysis/Characterization/Evaluation

3:50 PM - 4:05 PM JST(6:50 AM - 7:05 AM UTC)

[10] Characterization of HFCVD Diamond Layer by Confocal Raman Spectroscopy

*Kouji TANAKA¹, Shinya OHMAGARI¹, Takehiro SHIMAOKA¹, Hitoshi UMEZAWA¹, Hideaki YAMADA¹ (1. AIST)

共焦点ラマン分光法により、ホットフィラメント(HF)CVDダイヤモンド層を評価した結果を発表する。