[10]共焦点ラマン分光法によるHFCVDダイヤモンド層の評価
*田中 孝治1、大曲 新矢1、嶋岡 毅紘1、梅沢 仁1、山田 英明1(1. 産総研)
キーワード:
ラマン分光法、共焦点、貫通転位、歪み場、HFCVD層、モザイク・ダイヤモンド、ヘテロ・ダイヤモンド、Ib標準ダイヤモンド
共焦点ラマン分光法により、ホットフィラメント(HF)CVDダイヤモンド層を評価した結果を発表する。
ラマン分光法、共焦点、貫通転位、歪み場、HFCVD層、モザイク・ダイヤモンド、ヘテロ・ダイヤモンド、Ib標準ダイヤモンド