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[254]Fabrication of InSe photodiodes

*Itsuki Tauchi1, Chao Tang2, Seishi Abe3, Tadao Tanabe1 (1. 芝浦工業大学、2. 東北大学、3. 公益財団法人電磁材料研究所)

Keywords:

層状半導体,半導体デバイス,光検知器,フレキシブル

層状半導体であるInSeとプリンテッドエレクトロニクスを組み合わせることで、フレキシブルな半導体デバイスの作製プロセスの確立及び、その電気的特性の評価について。