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[K2.5]Microstructure and compositional analysis using TEM and TEM, -current situation and perspective

*HARA Toru1 (1. NIMS)

Keywords:

電子顕微鏡,三次元的観察,組成分析

SEMおよびTEMを用いた組織解析技術について、いくつかの実例を紹介し、最近の変化と方向性を簡潔にまとめる。それを元に、今後の金属学の進展のためにさらに必要な技術とは何か、ということを考察する。