Presentation Information
[P7]Low-temperature crystallization of Ge thin films using AuSb catalyst
*Ayano MORIYA1, Kentaro KYUNO1,2 (1. 芝浦工業大学大学院、2. 芝浦工業大学グリーンエレクトロニクス国際研究センター)
Keywords:
半導体,薄膜,結晶成長
AuSb薄膜を触媒としてGe薄膜を結晶化した。加熱の保持温度を変化させ、物性や薄膜構造の変化を調べた。AuとGeの共晶温度よりも低温で結晶化した。