[P] P3~P7

10:00 〜 11:30

[P7] AuSb触媒を用いたGe薄膜の低温結晶化

*守谷 彩乃¹、弓野 健太郎^1,2 (1. 芝浦工業大学大学院、2. 芝浦工業大学グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

キーワード：

半導体、薄膜、結晶成長

AuSb薄膜を触媒としてGe薄膜を結晶化した。加熱の保持温度を変化させ、物性や薄膜構造の変化を調べた。AuとGeの共晶温度よりも低温で結晶化した。