日本金属学会2023年秋期(第173回)講演大会

日本金属学会2023年秋期(第173回)講演大会

Sep 19 - Sep 26, 2023とやま自遊館(ポスターセッション)、富山大学五福キャンパス
The Japan Institute of Metals and Materials
日本金属学会2023年秋期(第173回)講演大会

日本金属学会2023年秋期(第173回)講演大会

Sep 19 - Sep 26, 2023とやま自遊館(ポスターセッション)、富山大学五福キャンパス

[P5]Crystallization of Ge thin films with Ag-Sb alloy at low temperature

*Yuta ASANO1, Kentaro KYUNO1,2(1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)
本研究ではMIC法を用い、Geの低温結晶化を試みた。先行研究でAg-Sbを金属触媒に用いた場合でもGeの結晶化が確認できた。今回は成膜順を逆にし、Ge、Ag-Sbの順で成膜した。