日本金属学会2023年秋期(第173回)講演大会
2023年9月19日〜9月26日とやま自遊館（ポスターセッション）、富山大学五福キャンパス
日本金属学会2023年秋期(第173回)講演大会
2023年9月19日〜9月26日とやま自遊館（ポスターセッション）、富山大学五福キャンパス
[P5]Ag-Sb合金を用いたGe薄膜の低温結晶化
*浅野 友太1、弓野 健太郎1,2(1. 芝浦工大(院生)、2. 芝浦工大グリーンエレクトロニクス国際研究センター)
キーワード：
半導体薄膜
本研究ではMIC法を用い、Geの低温結晶化を試みた。先行研究でAg-Sbを金属触媒に用いた場合でもGeの結晶化が確認できた。今回は成膜順を逆にし、Ge、Ag-Sbの順で成膜した。