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[P172]XANES analysis of nitride ScxGa1-xN solid solutions prepared by sputtering method

*Yu Ikemoto1, Kenji Hirata2, Hiroyuki Setiyama3, Shinya Ohmagari2, Sri Ayu Angaraini2, Morito Akiyama2, Hiroshi Yamada1,2, Masato Uehara1,2 (1. Kyushu Univ., 2. AIST, 3. SAGA-LS)

Keywords:

誘電体,XANES,第一原理計算

配位構造と圧電性能には関係があると考えられている。本研究では、ScやGa周辺の対称性の変化を解明するために、ScGaN薄膜に形成する可能性のある3つの結晶構造モデルの計算スペクトルと実験結果を比較し、考察した。