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[122]Effect of Bonding Voltage on Progress of Anodic Bonding
*MAKOTO TAKAHASHI1 (1. Joining and Welding Research Inst., Osaka Univ.)
Keywords:
陽極接合,ホウケイ酸ガラス,アルミニウム,イオン伝導,界面反応
硬質ガラスとアルミニウムの陽極接合の進行に対する接合電圧の影響を検討した。接合電圧を400 Vから600 Vに上げると接合中にガラス内を移動する電荷量は電圧に比例して増加し、接合界面の密着もより進行した。