[S6] S6.New Materials Science on Nanoscale Structures and Functions of Crystal Defect Cores, IV(1)

2:35 PM - 2:50 PM JST(5:35 AM - 5:50 AM UTC)

[S6.10] Automatic Correction of Thermal Drift in Scanning Probe Microscopy Imaging Using Feature Point Matching

*Zhuo Diao¹, Keiichi Ueda^1,2, Linfeng Hou¹, Hayato Yamashita¹, Oscar Custance³, Masayuki ABE¹ (1. Osaka Univ., 2. TIRI, 3. NIMS)

Keywords:

走査型プローブ顕微鏡,走査型トンネル顕微鏡,特徴点,熱ドリフト,原子分解能

走査型プローブ顕微鏡における、特徴点マッチングを用いた熱ドリフトの自動補正技術を開発した。連続で取得した画像の特徴点のマッチングペアを作り、ペア間の位置ずれからドリフト量とドリフト速度を算出する。