講演情報
[S6.10]特徴点マッチングを用いた走査型プローブ顕微鏡イメージングの熱ドリフト自動補正
*Diao Zhuo1、上田 啓市1,2、Hou Linfeng1、山下 隼人1、Custance Oscar3、阿部 真之1 (1. 阪大基礎工、2. 都産技研、3. 物材機構)
キーワード：
走査型プローブ顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、特徴点、熱ドリフト、原子分解能
走査型プローブ顕微鏡における、特徴点マッチングを用いた熱ドリフトの自動補正技術を開発した。連続で取得した画像の特徴点のマッチングペアを作り、ペア間の位置ずれからドリフト量とドリフト速度を算出する。