日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
Mar 7 - Mar 15, 2023東京大学 駒場Ⅰキャンパス
日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
Mar 7 - Mar 15, 2023東京大学 駒場Ⅰキャンパス
[P6]Crystallization of Ge by sputtering on heated substrate coated with Au
*Hayahide AKASAKA1, Kentaro KYUNO1,2(1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)
本研究では、低温でのGeの結晶化を目的として、Auで被覆した基板に、加熱とGeのスパッタを同時に行い、層交換を起こす方法を試みた。この方法で作製した試料の構造の評価を行った。