日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

2023年3月7日〜3月15日東京大学 駒場Ⅰキャンパス
公益社団法人 日本金属学会
日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

2023年3月7日〜3月15日東京大学 駒場Ⅰキャンパス

[P6]Auで被覆した加熱基板へのスパッタによるGe薄膜の結晶化

*赤坂 駿英1、弓野 健太郎1,2(1. 芝浦工大、2. 芝浦工大グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

キーワード:

半導体薄膜

本研究では、低温でのGeの結晶化を目的として、Auで被覆した基板に、加熱とGeのスパッタを同時に行い、層交換を起こす方法を試みた。この方法で作製した試料の構造の評価を行った。