公益社団法人 日本金属学会
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日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
2023年3月7日
〜3月15日
東京大学 駒場Ⅰキャンパス
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日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
詳細情報
日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
2023年3月7日
〜3月15日
東京大学 駒場Ⅰキャンパス
[P6]
Auで被覆した加熱基板へのスパッタによるGe薄膜の結晶化
*赤坂 駿英
1
、弓野 健太郎
1,2
(1. 芝浦工大、2. 芝浦工大グリーンエレクトロニクス国際研究センター)
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キーワード:
半導体薄膜
本研究では、低温でのGeの結晶化を目的として、Auで被覆した基板に、加熱とGeのスパッタを同時に行い、層交換を起こす方法を試みた。この方法で作製した試料の構造の評価を行った。
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