日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
Mar 7 - Mar 15, 2023東京大学 駒場Ⅰキャンパス
日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
Mar 7 - Mar 15, 2023東京大学 駒場Ⅰキャンパス
[P7]Structure and electrical properties of Ge thin films prepared by MIC method using AuSb
*Masaki KATO1, Kentaro KYUNO1,2(1. Shibaura Institute of Tecnology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)
本研究では、MIC法を用いてGeの結晶化を試みた。先行研究でAuSbを用いた場合でも結晶化されることが判明した。今回は結晶粒の増大を期待して成膜順を変更し触媒金属薄膜、Ge薄膜の順で成膜した。