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4:30 PM - 6:00 PM JST(7:30 AM - 9:00 AM UTC)

[P113]Preparation of Cantor alloy thin films using sputtering method

*Daisuke TANADA¹, Yuga TONOMURA¹, Kazuhiro ISHIKAWA², Yozi MIYAZIMA² (1. Kanazawa Univ., 2. Inst. of Kanazawa Univ.)

ハイエントロピー合金,Cantor合金,スパッタ薄膜,スパッタリング装置,膜厚

スパッタ装置を用いてスライドガラスやS45C等の金属上にハイエントロピー合金であるCantor合金の薄膜を成膜条件を変えることで作製し、SEM・EDS、ナノインデンテーション試験を用いた特性評価を行う。