[P113]Preparation of Cantor alloy thin films using sputtering method
*Daisuke TANADA1, Yuga TONOMURA1, Kazuhiro ISHIKAWA2, Yozi MIYAZIMA2(1. Kanazawa Univ., 2. Inst. of Kanazawa Univ.)
スパッタ装置を用いてスライドガラスやS45C等の金属上にハイエントロピー合金であるCantor合金の薄膜を成膜条件を変えることで作製し、SEM・EDS、ナノインデンテーション試験を用いた特性評価を行う。
