日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
2023年3月7日〜3月15日東京大学 駒場Ⅰキャンパス
日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
2023年3月7日〜3月15日東京大学 駒場Ⅰキャンパス
[P113]Cantor合金薄膜のスパッタ法を用いた作製
*棚田 大輔1、外村 優河1、石川 和宏2、宮嶋 陽司2(1. 金沢大、2. 金沢理工)
キーワード：
ハイエントロピー合金、Cantor合金、スパッタ薄膜、スパッタリング装置、膜厚
スパッタ装置を用いてスライドガラスやS45C等の金属上にハイエントロピー合金であるCantor合金の薄膜を成膜条件を変えることで作製し、SEM・EDS、ナノインデンテーション試験を用いた特性評価を行う。